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蒸发镀膜监测仪

INFICON IMM-100薄膜沉积监测仪

IMM-100

采用ModeLock技术的高精度单通道沉积监测仪,内置振荡器,可通过EtherCAT无缝集成到系统中,紧凑尺寸节省工具占用空间。

核心特性

ModeLock技术确保最长晶体寿命
频率分辨率±0.0035Hz @ 6MHz
EtherCAT通信,2个RJ45接口
内置振荡器减少硬件
紧凑尺寸222.6×106.1×35.3mm
单通道速率和膜厚监测
24V DC供电
符合RoHS

销售热线:18021616663

邮箱:hu@runqin.net

技术参数

参数名称参数值
传感器输入 1, BNC母头
频率范围 6.0-4.5MHz
分辨率 0.0042埃(100ms)
通信 EtherCAT
电源 24V DC
尺寸 222.6×106.1×35.3mm
重量 0.48kg

产品介绍

采用ModeLock技术的高精度单通道沉积监测仪,内置振荡器,可通过EtherCAT无缝集成到系统中,紧凑尺寸节省工具占用空间。

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