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蒸发镀膜监测仪

INFICON Guardian共沉积控制系统

Guardian

基于电子冲击发射光谱(EIES)技术的共沉积控制仪,可精密控制0.1至9999埃/秒的沉积速率,操作1-2个传感器和多达8路光学输入,控制多达8个沉积源。

核心特性

EIES专利技术
监测控制多达8种材料同时沉积
沉积速率0.1-9999埃/秒
集成EIES和QCM控制
CIGS/MBE/超导薄膜理想选择
6路源控制输出
12路继电器+12路逻辑输入
Windows软件包含

销售热线:18021616663

邮箱:hu@runqin.net

技术参数

参数名称参数值
传感器 Guardian EIES传感器
检测器 PMT, 185-730nm
输出分辨率 20位
控制输出 6路, 0至±10V
数字I/O 12继电器+12逻辑
电源 100-240V AC, 150W
尺寸 483×89×305mm

产品介绍

基于电子冲击发射光谱(EIES)技术的共沉积控制仪,可精密控制0.1至9999埃/秒的沉积速率,操作1-2个传感器和多达8路光学输入,控制多达8个沉积源。

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