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半导体过滤器

INFICON NanoSuave CMP滤芯过滤器

NanoSuave CMP

采用先进纳米纤维连续熔喷技术的CMP浆料过滤滤芯,低剪切力过滤,防止浆料老化团聚。

核心特性

聚丙烯纳米纤维
连续熔喷技术
低剪切力过滤
大梯度设计
高颗粒容纳能力
0.1μm-150μm精度

销售热线:18021616663

邮箱:hu@runqin.net

技术参数

参数名称参数值
材质 聚丙烯纳米纤维
精度 0.1μm-150μm
最大压力 0.4MPa@20°C
最大温度 80°C
密封圈 EPDM/FKM/Silicone

产品介绍

采用先进纳米纤维连续熔喷技术的CMP浆料过滤滤芯,低剪切力过滤,防止浆料老化团聚。

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