1 SERVICE MODULE

设备挡板清洗

PVD/CVD/MOCVD腔体、蒸镀环、Sputter载具全覆盖。化学浸泡去膜 + 精密喷砂粗化 + 多频超声波精洗，九道工序层层把关，清洗后表面粗糙度、颗粒度均达半导体级标准，让每一个部件恢复出厂状态。

品质管控

生产工序

进货检查

IQC

外观破损、裂纹、变形、膜剥落情况全面检查，建立清洗档案

化学清洗

PROD

药液配置→浸泡去膜→多级水洗→氮气吹干，去除表面有机与金属沉积

表面处理

PROD

精密喷砂粗化净化，熔射涂层修复，恢复表面功能特性

中间检查

PQC

表面处理合格确认，粗糙度与清洁度检测，方可进入无尘室

超声波清洗

PROD

18MΩ超纯水配合双频超声波系统，精细去除微米级颗粒

干燥

PROD

洁净烘箱热风循环干燥，最高250°C，确保无残留水渍

最终检查

OQC

外观全检 + 微尘Particle检测 + 粒度确认，出具检测报告

真空包装

PROD

洁净室PE袋双重真空封装，防止二次污染

装箱出货

PROD

专用防震包装箱，标识清晰，保证运输安全

9道

标准工序全流程

18MΩ

超纯水质检标准

Ra 4-80μm

喷砂熔射粗糙度可控

250°C

洁净烘箱最高温度

2 SERVICE MODULE

贵金属提纯回收

覆盖LED芯片、半导体蒸镀、溅射等环节产生的含金、银、铂、钯等贵金属废料，提供从回收到高纯度精炼的一站式服务。

润沁提供金、银、铂、钯、钌、铑、锇、铱等贵金属靶材以旧换新服务；含贵金属废料不论含量、形态均可回收提纯；高纯金、银、铂提纯加工达 5N（99.999%）及以上纯度。光谱分析仪现场检测，定价透明公允，有效降低客户材料成本。

靶材以旧换新

金靶、银靶、铂靶、钯靶、钌靶、铑靶、锇靶、铱靶均可回收，废靶残值直接抵扣新靶采购成本。

废料回收提纯

金屑、镀锅、蓝膜、废靶等含贵金属废料，不论含量与形态均可回收，光谱检测定价。

5N高纯加工

高纯金、银、铂提纯加工达99.999%（5N）及以上纯度，满足高端半导体与光电器件需求。

可回收废料类型

金屑

切割、研磨产生的含金碎料，含量不限均可回收

镀锅

蒸镀用坩埚，残留贵金属镀层可高效提炼回收

蓝膜

LED剥离工序的蓝宝石基底薄膜，含贵金属残留

废靶

使用后的金属靶材，残值可直接抵扣新靶采购

5N+

高纯提纯纯度
≥99.999%

8种

贵金属全覆盖
Au/Ag/Pt/Pd…

光谱

现场分析检测
定价透明公允

可回收金属种类

金Au

银Ag

铂Pt

钯Pd

钌Ru

铑Rh

锇Os

铱Ir

服务优势

5N+ 高纯度提纯

金、银、铂达99.999%以上

光谱检测定价

现场光谱分析，透明公允

靶材以旧换新

废靶残值抵扣新靶采购

全国可寄样

支持来料加工，小批到量产

3 SERVICE MODULE

清洗效果对比

以下为实际清洗案例对比。所有部件经过九道标准工序处理后，表面沉积膜层完全去除，粗糙度与颗粒度均经精密检测合格，装机即可使用。点击图片可放大查看。

清洗前 BEFORE 清洗后 AFTER

弧形挡板 · 沉积膜层去除

表面深色沉积完全清除，喷砂后均匀哑光，无残留死角

清洗前 BEFORE 清洗后 AFTER

遮罩框架 · 表面净化处理

复杂结构狭缝处附着物彻底清除，恢复母材原始表面

清洗前 BEFORE 清洗后 AFTER

圆环件 · 熔射涂层修复

表面变色沉积去除，熔射涂层均匀覆盖，恢复功能性膜层

清洗前 BEFORE 清洗后 AFTER

腔体框架 · 氧化层去除

大面积框架表面氧化与污渍彻底清洗，平整度恢复

清洗前 BEFORE 清洗后 AFTER

导轨条 · 精密清洗成品

长条结构件清洗后表面均匀一致，孔位无残留，检测合格

清洗前 BEFORE 清洗后 AFTER

网格遮罩板 · 微孔清洁

密集网格微孔中沉积物彻底清除，透气性能完全恢复

如需清洗或回收服务，欢迎随时联系我们 | 180-2161-6663

立即咨询