| 参数名称 | 参数值 |
|---|---|
| 产品定位 | 加热式电容膜片真空计（SKY 品牌），100°C 恒温控制，适用半导体/等离子/腐蚀性工艺 |
| 传感器材质 | 超纯氧化铝陶瓷（Al₂O₃）隔膜 + 316L 不锈钢（防腐、信号稳定、大气恢复快、预热快 50%） |
| 精度 | 0.2% 读数（1～1100 Torr/mbar 档）；小量程档（0.05～0.5 Torr）为 0.4% 读数 |
| 分辨率 | 0.003% FS |
| 响应时间 | 30 ms |
| 温度效应 | 零点 0.0025% FS/°C；量程 0.02% 读数/°C |
| 满量程（FS）档位 | 0.1 / 0.25 / 0.5 / 1 / 2 / 5 / 10 / 20 / 50 / 100 / 200 / 500 / 1000 / 1100 Torr（另有 mbar 单位版本） |
| 模拟输出 | 0…+10 V DC 线性输出，不受气体类型限制 |
| 法兰选项 | DN16 ISO-KF / DN16 CF-R / OD 1/2 英寸管 / 4VCR 公头 / 4VCR 母头 / 8VCR 母头（长） |
| 现场总线（可选） | DeviceNet / Profibus DP / Profinet / EtherCAT / 4–20 mA 电流环 |
| 设定点 | 标配 2 个设定点继电器（常开无电势，≤30 V DC / ≤0.5 A） |
| 内部容积 | ≤6.8 cm³ |
| 泄漏率 | <1×10⁻⁹ mbar·l/s |
| 温度 | 环境 +10…+50°C；法兰烘烤 ≤110°C；存储 –40…+65°C |
| 防护等级 | IP40 |
| 合规认证 | CE、EN、UL、SEMI、RoHS |
| 保修 | 两年 |
加热式电容膜片真空计 · 100°C 恒温控制 · 0.2% 读数精度
