引进国外先进热电偶(T/C)生产技术,依托国内制造和上海市计量测试技术研究院(华东国家计量中心)的检测能力,致力于为半导体、光伏和LED客户提供全面的温度监控解决方案。产品覆盖R/S/B铂铑偶丝,支持横式/立式炉管、外延炉、铸锭炉等多种应用场景,并提供晶圆级原位温度测量(T/C Wafer)及专业校准服务。
Profile T/C与Spike T/C专用于横式炉管和立式炉管的精密温度测量,广泛应用于半导体芯片工厂和太阳能电池片工厂。采用高纯度铂铑偶丝,陶瓷绝缘管,石英/碳化硅保护管,确保在高温环境下的稳定性和精确度。
Control T/C专用于ASM外延炉和多晶硅铸锭炉的高精度温度控制。外延炉版本采用0.25mm细丝设计,铸锭炉版本配备氧化铝管和氧化锆保护管,满足太阳能行业多晶硅铸锭炉(TC1、TC2)的严苛要求。
晶圆级原位温度测量解决方案。热电偶结深埋于硅片腔体,实现直接in-situ温度测量,可精确测量晶圆不同位置的实际温度,连续监控完整热循环(包括升温、降温、延迟等瞬态状态)。相比传统间接测量,T/C Wafer提供更高精度、更优效率、更短的停机时间。
依托上海市计量测试技术研究院(华东国家计量测试中心)的检测能力,提供专业的热电偶校准服务,确保温度测量的准确性和可追溯性。同时供应全系列热电偶相关配件、炉管配件及碳化硅加热炉体。