热电偶系列

热电偶系列

引进国外先进热电偶(T/C)生产技术,依托国内制造和上海市计量测试技术研究院(华东国家计量中心)的检测能力,致力于为半导体、光伏和LED客户提供全面的温度监控解决方案。产品覆盖R/S/B铂铑偶丝,支持横式/立式炉管、外延炉、铸锭炉等多种应用场景,并提供晶圆级原位温度测量(T/C Wafer)及专业校准服务。

1 PROFILE & SPIKE T/C

炉管温控热电偶

Profile T/C与Spike T/C专用于横式炉管和立式炉管的精密温度测量,广泛应用于半导体芯片工厂和太阳能电池片工厂。采用高纯度铂铑偶丝,陶瓷绝缘管,石英/碳化硅保护管,确保在高温环境下的稳定性和精确度。

偶丝类型
R、S、B等铂铑合金
偶丝直径
0.50mm
绝缘管
陶瓷(ALSINT 99.7%)
保护管
石英、陶瓷、碳化硅
连接插头
2 Pin标准插头、迷你插头
THERMCO炉管 BTU炉管 SVG炉管 ASM炉管 TEMPRESS炉管 TEL炉管 KE炉管
2 CONTROL T/C

外延炉/铸锭炉热电偶

Control T/C专用于ASM外延炉和多晶硅铸锭炉的高精度温度控制。外延炉版本采用0.25mm细丝设计,铸锭炉版本配备氧化铝管和氧化锆保护管,满足太阳能行业多晶硅铸锭炉(TC1、TC2)的严苛要求。

外延炉偶丝直径
0.25mm(细丝版)
铸锭炉偶丝直径
0.50mm
绝缘管
陶瓷(ALSINT 99.7%)
保护管
石英管 / 氧化铝管+氧化锆管
连接插头
2 Pin迷你插头
ASM外延炉 ALD铸锭炉 GT-SOLAR 精功科技 京运通 汉虹
3 T/C WAFER

热电偶晶圆(T/C Wafer)

晶圆级原位温度测量解决方案。热电偶结深埋于硅片腔体,实现直接in-situ温度测量,可精确测量晶圆不同位置的实际温度,连续监控完整热循环(包括升温、降温、延迟等瞬态状态)。相比传统间接测量,T/C Wafer提供更高精度、更优效率、更短的停机时间。

晶圆尺寸
2" ~ 12"
热电偶类型
K、R型等
测温点数量
1 ~ 34个传感器
绝缘材料
特氟龙套管、聚酰亚胺、硅胶套管等
连接器
2-Pin、Sub-miniature、D-type等
Photo工艺 CVD工艺 PVD工艺 Hot Plate检测
4 CALIBRATION & ACCESSORIES

热电偶校准服务与配件

依托上海市计量测试技术研究院(华东国家计量测试中心)的检测能力,提供专业的热电偶校准服务,确保温度测量的准确性和可追溯性。同时供应全系列热电偶相关配件、炉管配件及碳化硅加热炉体。

R/S/B
铂铑偶丝类型
0.25-0.50mm
多规格直径
99.7%
ALSINT陶瓷纯度
2"~12"
晶圆尺寸覆盖
配件与耗材
炉管配件:加热炉体、碳化硅(SiC)炉腔,主控恒温区高精度均匀性,双倍密度腔体避免裂缝卷曲,真空成型降低能耗。
热电偶配件:各类连接器、插头、绝缘管、保护管等全系列耗材。
校准服务:华东国家计量测试中心专业校准,确保温度测量准确可追溯。

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