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半导体过滤器

INFICON AccuPattern UPE一次性过滤器

AccuPattern UPE Disposable

UPE材质一次性过滤器,优化结构设计,强效截留先进光刻工艺中的超微污染物。

核心特性

HDPE结构
污染物控制技术
低表面活性吸附
一次性使用

销售热线:18021616663

邮箱:hu@runqin.net

技术参数

参数名称参数值
材质 HDPE
应用 先进光刻化学品POU

产品介绍

UPE材质一次性过滤器,优化结构设计,强效截留先进光刻工艺中的超微污染物。

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