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半导体过滤器

INFICON SemiGa全特氟龙滤芯过滤器

SemiGa All Teflon

专为先进WEC工艺设计的全氟过滤解决方案,疏水性PTFE膜最大化表面积,180°C高温操作。

核心特性

全PTFE/PFA氟树脂
疏水性PTFE膜
10nm-10μm精度
180°C高温
热粘合结构
低氯化物/金属析出
预润湿可选

销售热线:18021616663

邮箱:hu@runqin.net

技术参数

参数名称参数值
Hydrophobic PTFE
结构 PFA
精度 10nm-10μm
最大温度 180°C
最大压力 0.58MPa@25°C
密封圈 F-FKM/FFKM/Kalrez

产品介绍

专为先进WEC工艺设计的全氟过滤解决方案,疏水性PTFE膜最大化表面积,180°C高温操作。

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