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蒸发镀膜控制仪

INFICON Cygnus 2薄膜沉积控制仪

Cygnus 2

面向OLED应用的高端薄膜沉积控制仪,采用INFICON ModeLock频率测量系统,实现业界领先的0.00433埃/秒速率分辨率,可同时独立控制多达6个源。

核心特性

ModeLock技术确保最稳定的速率和厚度测量
Auto-Z功能自动确定Z比值提高厚度精度
同时控制多达6个源,无需多台控制仪
彩色TFT液晶显示屏
10Hz测量频率,±0.0035赫兹分辨率
USB数据存储用于截图/配方/数据记录
6路DAC标准输出+6路可选附加输出
可选以太网通信,符合RoHS

销售热线:18021616663

邮箱:hu@runqin.net

技术参数

参数名称参数值
频率分辨率 ±0.0035Hz @ 6MHz
测量间隔 0.10秒
传感器数 多达6个
源控制 多达6源
电源 100-230V AC
尺寸 133×483×330mm
重量 5.9kg
通信 RS-232/可选以太网

产品介绍

面向OLED应用的高端薄膜沉积控制仪,采用INFICON ModeLock频率测量系统,实现业界领先的0.00433埃/秒速率分辨率,可同时独立控制多达6个源。

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