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蒸发镀膜控制仪

INFICON IC6薄膜沉积控制仪

IC6

面向光学应用的高精度薄膜沉积控制仪,利用ModeLock技术实现稳定高分辨率测量,可处理50个分别包含200层的过程(最多10,000层)。

核心特性

ModeLock专利技术防模式跳变
Auto-Z功能自动确定Z比值
同时共沉积多达6个源
可处理50个过程/200层/10,000层
多达8个传感器输入
100个可编程逻辑语句
彩色TFT液晶显示屏
USB存储和以太网可选

销售热线:18021616663

邮箱:hu@runqin.net

技术参数

参数名称参数值
频率分辨率 ±0.0035Hz @ 6MHz
传感器数 多达8个
源控制 多达6源
材料程序 32种
过程 50个
电源 100-230V AC
尺寸 133×483×330mm
重量 5.9kg

产品介绍

面向光学应用的高精度薄膜沉积控制仪,利用ModeLock技术实现稳定高分辨率测量,可处理50个分别包含200层的过程(最多10,000层)。

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