蒸发镀膜控制仪

Cygnus 2

INFICON Cygnus 2薄膜沉积控制仪

面向OLED应用的高端薄膜沉积控制仪，采用INFICON ModeLock频率测量系统，实现业界领先的0.00433埃/秒速率分辨率，可同时独立控制多达6个源。

• ModeLock技术确保最稳定的速率和厚度测量
• Auto-Z功能自动确定Z比值提高厚度精度
• 同时控制多达6个源，无需多台控制仪
• 彩色TFT液晶显示屏

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蒸发镀膜控制仪

IC6

INFICON IC6薄膜沉积控制仪

面向光学应用的高精度薄膜沉积控制仪，利用ModeLock技术实现稳定高分辨率测量，可处理50个分别包含200层的过程(最多10,000层)。

• ModeLock专利技术防模式跳变
• Auto-Z功能自动确定Z比值
• 同时共沉积多达6个源
• 可处理50个过程/200层/10,000层

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蒸发镀膜控制仪

IQM-233

INFICON IQM-233薄膜沉积控制仪卡

PCI Express卡形式的薄膜沉积控制仪，可将计算机变成QCM控制仪。每张卡具有3路传感器输入和3路源输出，一台计算机最多安装两张卡。

• PCI Express接口
• 3路传感器输入/3路控制输出
• 一台计算机可安装两张卡(6输入6输出)
• 多源共沉积

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蒸发镀膜控制仪

SQC-310C

INFICON SQC-310C共沉积控制仪

SQC-310系列的共沉积型号，最多可同时监测并控制4路传感器输入和4路源输出，提供16路数字量输入和16路继电器输出。

• 4路传感器输入/4路源输出
• 16路数字量输入/16路继电器输出
• 多源共沉积控制
• 彩色VGA液晶显示屏

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蒸发镀膜控制仪

SQC-310

INFICON SQC-310顺序沉积控制仪

高性价比的多层顺序沉积控制仪，配备明亮的彩色液晶显示屏，存储容量可达100个过程/1000层/50种薄膜，标配RS-232和USB接口。

• 彩色液晶显示屏(英文/中文)
• 100过程/1000层/50薄膜存储
• 2路传感器输入/2路源输出
• 频率分辨率±0.03Hz(10次/秒)

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蒸发镀膜控制仪

XTC/3M

INFICON XTC/3M多层薄膜沉积控制仪

先进的多层薄膜沉积控制仪，采用ModeLock专利技术，支持99个过程、999层、32种薄膜，2个传感器和2个源，适合生产与研发用途。

• ModeLock专利技术防模式跳变
• 99个过程/999层/32种薄膜
• 2个传感器输入和2个源输出
• 支持Crystal 12/CrystalSix/双晶传感器

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石英晶体传感器

ALD-Sensor

INFICON ALD传感器

专为原子层沉积(ALD)工艺设计的传感器，适用于ALD过程中的精确膜厚监测。

• ALD工艺专用
• 高精度监测
• 快速响应
• 适用于周期性沉积

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石英晶体传感器

Crystal 12

INFICON Crystal 12传感器

Crystal 12传感器可容纳12片石英晶片并自动切换，大幅延长连续运行时间，减少工具排气间隔。

• 12片晶片自动切换
• 大幅延长运行时间
• 减少工具排气
• 兼容Cygnus 2/IC6/XTC/3

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石英晶体传感器

CrystalSix

INFICON CrystalSix传感器

CrystalSix传感器可容纳6片石英晶片并自动切换，提供灵活的晶片管理方案。

• 6片晶片自动切换
• 灵活晶片管理
• 兼容多种控制仪

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石英晶体传感器

ER-Single

INFICON Easy Rate单晶传感器

Easy Rate系列单晶传感器，简化晶片更换操作流程。

• Easy Rate快速更换
• 单晶设计
• 操作简便
• 适用于多种沉积

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石英晶体传感器

ER-Dual

INFICON Easy Rate双晶传感器

Easy Rate系列双晶传感器，快速更换与双晶切换结合。

• Easy Rate快速更换
• 双晶切换
• 操作简便

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石英晶体传感器

RSH-600

INFICON RSH-600旋转式传感头

RSH-600旋转式传感头，可旋转传感器以优化沉积监测位置和角度。

• 旋转式设计
• 优化监测角度
• 灵活安装

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石英晶体传感器

SemiQCM 750-7000-GXX

INFICON SemiQCM传感器

半导体级石英晶体微天平传感器，专为半导体制造工艺设计，提供极高的洁净度和测量精度。

• 半导体级洁净度
• 高精度测量
• 专为半导体工艺设计

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石英晶体传感器

UHV-Bakeable

INFICON UHV可烘烤传感器

超高真空(UHV)可烘烤传感器，适用于需要高温烘烤除气的超高真空沉积系统。

• 超高真空兼容
• 可高温烘烤
• 适用于MBE等应用
• 高温度稳定性

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石英晶体传感器

FL-Single

INFICON 前载式单晶传感器

前载式单晶石英晶体微天平传感器，适用于各种蒸发和溅射沉积过程的速率和膜厚监测。

• 前载式晶片更换
• 单晶设计
• 多种法兰可选
• 兼容所有INFICON控制仪

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石英晶体传感器

FL-Dual

INFICON 前载式双晶传感器

前载式双晶传感器，可在两个晶体之间自动切换，延长监测时间。

• 前载式更换
• 双晶自动切换
• 延长晶体寿命
• 配合CrystalTwo开关使用

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石英晶体传感器

DT-Single

INFICON 抽屉式单晶传感器

抽屉式单晶传感器，通过抽屉机构更换晶片，无需打开真空室。

• 抽屉式晶片更换
• 无需破真空
• 单晶设计
• 多种法兰规格

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石英晶体传感器

DT-Dual

INFICON 抽屉式双晶传感器

抽屉式双晶传感器，结合抽屉式装载和双晶切换优势。

• 抽屉式装载
• 双晶切换
• 无需破真空换晶

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石英晶体传感器

Sputter-Sensor

INFICON 溅射传感器

专为溅射沉积工艺设计的传感器，耐受溅射环境中的高能粒子轰击。

• 溅射工艺专用
• 耐粒子轰击
• 长寿命设计
• 多种安装方式

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真空计

Augent OPG550

INFICON Augent OPG550光学等离子体真空计

基于光学等离子体技术的创新真空计，利用光学方法检测等离子体状态来测量真空度。

• 光学等离子体技术
• 创新测量原理
• 无灯丝长寿命

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真空计

BAG302

INFICON BAG302 Bayard-Alpert热电离真空计

Bayard-Alpert型热电离真空计头，用于高真空和超高真空测量。

• BA型热阴极电离
• 高真空测量
• 稳定可靠

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真空计

BPG400

INFICON BPG400 Bayard-Alpert皮拉尼真空计

结合BA热电离和皮拉尼技术的复合真空计，从粗真空到高真空的宽范围单探头测量。

• BA热电离+皮拉尼组合
• 宽范围单探头
• 从大气到高真空

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真空计

MAG050/060/070

INFICON MAG050/060/070冷阴极真空计(无源)

无源冷阴极真空计头，无需内置电子元件，需配合外部控制器使用。三个型号覆盖不同量程。

• 冷阴极(倒置磁控管)
• 无源设计
• 长寿命无灯丝
• 三种量程

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真空计

Gemini MPG55x/MAG55x

INFICON MPG55x/MAG55x倒置磁控管/皮拉尼真空计

Gemini系列倒置磁控管/皮拉尼组合真空计，冷阴极+皮拉尼双探头。

• 倒置磁控管+皮拉尼
• 冷阴极长寿命
• Gemini系列

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真空计

PCG550/552/554

INFICON PCG550皮拉尼电容膜片真空计

结合皮拉尼和电容膜片技术的组合真空计，覆盖从大气到高真空的宽范围测量。

• 皮拉尼+电容膜片组合
• 宽范围测量
• 三种型号

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真空计

PGE300

INFICON PGE300增强皮拉尼真空计

PGE300增强皮拉尼真空计，经济型增强皮拉尼解决方案。

• 增强皮拉尼
• 经济型
• 可靠测量

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真空计

PGE500

INFICON PGE500增强皮拉尼真空计

增强型皮拉尼真空计，比标准皮拉尼具有更宽的测量范围和更高的精度。

• 增强皮拉尼技术
• 更宽测量范围
• 更高精度
• 多种接口可选

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真空计

Porter CDG020D

INFICON Porter CDG020D环境电容膜片真空计

高质量低成本环境电容膜片真空计，陶瓷传感器提供卓越的满量程和零点稳定性，抗腐蚀整体陶瓷结构确保优异温度补偿。

• 与气体类型无关的绝压测量
• 防腐氧化铝陶瓷传感器
• 紧凑设计(同类最小)
• 数字信号处理

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真空计

PSG500/-S

INFICON PSG500皮拉尼标准真空计

PSG500系列皮拉尼标准真空计，包括PSG500/-S、PSG502-S、PSG510-S、PSG512-S多种型号。

• 皮拉尼热导原理
• 多种型号可选
• 标准工业接口
• 粗真空测量

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真空计

PSG550/552/554

INFICON PSG550皮拉尼标准真空计

PSG550系列皮拉尼标准真空计，包括PSG550、PSG552、PSG554三种型号。

• 皮拉尼原理
• 三种型号
• 工业标准

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真空计

SKY CDG025D-X3 4-20mA

INFICON SKY CDG025D-X3 4-20mA电流环真空计

二线制4-20mA电流环输出的电容膜片真空计，长电缆距离(<300m)，低功耗，含远程调零功能。

• 二线制电流环接口
• 长电缆距离<300m
• 低功耗
• 远程调零

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真空计

SKY CDG025D-X3

INFICON SKY CDG025D-X3环境电容膜片真空计

CDG025D的升级版本，传感器防污染双重保护，符合洁净室要求，优化的压力控制信号滤波器设置。

• 双重传感器保护
• 符合洁净室要求
• 优化压力控制滤波
• 快速稳定/恢复

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真空计

SKY CDG025D

INFICON SKY CDG025D环境电容膜片真空计

高精度温度补偿型电容膜片真空计，抗腐蚀超纯陶瓷传感器，百万次压强周期寿命，独特传感器屏蔽保护免受工艺污染。

• 满量程100mTorr-1000Torr
• 电源接通后快速稳定
• 暴露大气压后快速恢复
• 防腐陶瓷传感器

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真空计

Stripe CDG045Dhs

INFICON Stripe CDG045Dhs加热式电容膜片真空计

Stripe系列加热式电容膜片真空计，紧凑型设计。

• 加热式
• Stripe紧凑设计
• 高精度

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真空计

Trigon BAG552

INFICON Trigon BAG552 Bayard-Alpert热电离真空计

Trigon系列三角形BA型热电离真空计，优化的几何结构提供更好的灵敏度。

• Trigon三角设计
• BA型热电离
• 优化灵敏度

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真空计

TripleGauge BCG450

INFICON TripleGauge BCG450三复合真空计

结合Bayard-Alpert热电离、皮拉尼和电容膜片三种技术的三复合真空计，单探头覆盖从大气到超高真空。

• 三合一技术(BA+皮拉尼+CDG)
• 单探头全范围
• 大气到超高真空

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真空计

VSA100A

INFICON VSA100A真空开关

真空开关，用于在设定压力点切换电路状态。

• 压力设定点切换
• 可靠耐用
• 工业应用

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